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標(biāo)題: cmp拋光液是什么？ [打印本頁]

作者: mt_s 時間: 2025-7-4 09:31
標(biāo)題: cmp拋光液是什么？
CMP拋光液是化學(xué)機械拋光（Chemical Mechanical Polishing）工藝的關(guān)鍵耗材，主要用于半導(dǎo)體、集成電路、光學(xué)器件等精密制造領(lǐng)域的表面平整化處理。
其核心成分通常包括磨料（如二氧化硅、氧化鋁、氧化鈰等納米級顆粒，作為物理研磨的“介質(zhì)”）、化學(xué)添加劑（如酸/堿調(diào)節(jié)劑、氧化劑、絡(luò)合劑等，通過化學(xué)反應(yīng)軟化或溶解材料表面）、分散劑（防止磨料團聚，保證拋光液穩(wěn)定性）及去離子水等。工作原理是利用磨料的機械研磨作用和化學(xué)試劑的腐蝕作用協(xié)同作用，在壓力和拋光墊的摩擦下，將工件表面的凸起部分逐步去除，最終實現(xiàn)原子級別的表面平整度。
不同應(yīng)用場景對CMP拋光液的配方要求差異顯著：例如半導(dǎo)體制造中硅片拋光需使用高純度二氧化硅基拋光液，而金屬層（如銅、鎢）拋光則需搭配特定氧化劑與絡(luò)合劑。該材料的技術(shù)門檻高，性能直接影響芯片良率和器件可靠性，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中不可或缺的關(guān)鍵材料。

作者: 小尾巴123 時間: 2025-11-29 11:24
樓上說得太對了，我也是這樣想的。

作者: 夏末淺秋 時間: 6 天前
您的帖子讓我深受啟發(fā)，仿佛打開了一扇新世界的大門，感激不盡！

作者: 體力-1 時間: 前天 05:10
感謝樓主帶來的干貨，讓我們在儀器/設(shè)備領(lǐng)域少走彎路～

作者: zhouyiq 時間: 昨天 20:55
能否提供更多細(xì)節(jié)？我對這個話題很感興趣。

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