制造論壇-制造行業(yè)自己的交流社區(qū)!

標(biāo)題: 氦質(zhì)譜檢漏儀的維護(hù)與校準(zhǔn)? [打印本頁]

作者: 安工科技 時間: 2025-4-11 13:44
標(biāo)題: 氦質(zhì)譜檢漏儀的維護(hù)與校準(zhǔn)?
氦質(zhì)譜檢漏儀是一種高精密儀器，其性能依賴于正確的??維護(hù)??和??校準(zhǔn)??。定期保養(yǎng)可確保檢測精度、延長設(shè)備壽命，并減少誤報或漏檢風(fēng)險。以下是詳細(xì)的維護(hù)與校準(zhǔn)指南：
??1.氦質(zhì)譜檢漏儀日常維護(hù)??
??（1）真空系統(tǒng)維護(hù)??
定期更換真空泵油??（若使用油旋片泵）：
建議每??500~1000小時??更換一次，防止油污染影響檢測。
若油變黑或乳化，需立即更換。
檢查真空密封性??：
使用標(biāo)準(zhǔn)漏孔或氦氣測試，確保系統(tǒng)無泄漏。
檢查O型圈、法蘭密封面是否老化或損壞。
防止顆粒污染??：
在進(jìn)氣口加裝??顆粒過濾器??，避免灰塵進(jìn)入質(zhì)譜室。
??（2）離子源與質(zhì)譜室清潔??
??離子源污染??會導(dǎo)致靈敏度下降，表現(xiàn)為：
本底噪聲升高
響應(yīng)時間變長
校準(zhǔn)失敗
清潔方法??：
使用??無水乙醇??或??專用清潔劑??擦拭離子源電極。
若污染嚴(yán)重，可能需要??專業(yè)拆解清洗??或更換部件。
??（3）電子系統(tǒng)檢查??
??檢查電纜與接頭??：
確保信號線無松動、氧化或短路。
??校準(zhǔn)電子倍增器（EM）增益??（若適用）：
避免信號漂移或靈敏度異常。

??2.校準(zhǔn)方法??
??（1）零點校準(zhǔn)
??目的??：消除本底噪聲（如空氣殘留氦氣）。
??步驟??：
抽真空至穩(wěn)定狀態(tài)（無氦氣輸入）。
儀器自動或手動調(diào)整零點，使讀數(shù)歸零。
??（2）靈敏度校準(zhǔn)
??目的??：確保檢測信號與實際漏率匹配。
??工具??：??標(biāo)準(zhǔn)漏孔??。
??步驟??：
將標(biāo)準(zhǔn)漏孔連接至檢漏儀。
通入氦氣，記錄儀器讀數(shù)。
調(diào)整增益系數(shù)，使測量值與標(biāo)準(zhǔn)漏孔標(biāo)稱值一致。
??（3）響應(yīng)時間測試??
??目的??：驗證儀器對氦氣的響應(yīng)速度。
??方法??：
快速噴氦氣，觀察信號上升時間（通常應(yīng)<1秒）。

作者: 看日出日落 時間: 2025-10-23 04:24
你的帖子很有條理，容易理解。

作者: jiuyi 時間: 2025-12-3 22:48
雖然我對這個話題不是非常了解，但看到大家的討論，我也收獲了很多新知識，感謝分享！

作者: 瘋的很正經(jīng) 時間: 昨天 09:06
你分享的資料很有用，收藏了。

歡迎光臨制造論壇-制造行業(yè)自己的交流社區(qū)! (http://0591mm.cn/)